发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Possible extreme ultraviolet mask thermal deformation during exposure
极紫外掩模曝光过程中可能的热变形
相关领域
极紫外光刻 极端紫外线 变形（气象学） 材料科学 热的 热膨胀 光学 抵抗 紫外线 复合材料 光电子学 物理 激光器 气象学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.20.3.031012
DOI
10.1117/1.jmm.20.3.031012 doi
其它 期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
作者：Chung-Hyun Ban; In-Hwa Kang; Won-Yung Choi; Hye-Keun Oh
出版日期：2021-08-31
求助人
爱吃鱼的鼠 在 2025-12-03 15:18:53 发布自山东，悬赏 20 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. EUV resists towards 11nm half-pitch
  2. Toward 10nm half-pitch in EUV lithography: results on resist screening and pattern collapse mitigati...
  3. Synchrotron beamline for extreme-ultraviolet multilayer mirror endurance testing
  4. Evaluation of EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks using rigorous FEM-simulation
  5. Development of Extreme-Ultraviolet Light Source by Laser-Produced Plasma
  6. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  7. Extreme ultraviolet resist outgassing and its effect on nearby optics
  8. Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes
  9. Optical Devices for Extreme Ultraviolet
  10. Pulsed Plasma EUV Sources
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 2小时前

    慕青 慕青 Lv12 上传了文件

    待审核 031012_1.pdf (2.28 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 2小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:18:57 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:18:54 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    15:18:53 已向机器人发送请求

  • 2小时前

    爱吃鱼的鼠 爱吃鱼的鼠 Lv11 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
各个器官发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
1秒前
苗条棒棒糖完成签到，获得积分10
2秒前
深情安青的应助被yhyh采纳，获得10
2秒前
Emily发布了新的文献求助10
3秒前
Orange的应助被Debra采纳，获得10
3秒前
小蘑菇的应助被小Z采纳，获得10
4秒前
dotty发布了新的文献求助10
4秒前
活泼的白开水完成签到，获得积分20
5秒前
6秒前
君君发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
华仔的应助被谷大喵唔采纳，获得10
8秒前
guohuafan完成签到，获得积分10
9秒前
Raewenning发布了新的文献求助10
10秒前
sss发布了新的文献求助10
10秒前
11秒前
11秒前
HRZ完成签到 ，获得积分0
11秒前
科研通AI6的应助被阿腾采纳，获得10
11秒前
12秒前
王倩发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
搞怪无招完成签到，获得积分10
14秒前
15秒前
16秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
16秒前
16秒前
16秒前
Xiaoan发布了新的文献求助10
16秒前
16秒前
17秒前
marinzou发布了新的文献求助20
17秒前
17秒前
852的应助被苏梗采纳，获得10
19秒前
跳跃的巧凡完成签到，获得积分10
19秒前
yhyh完成签到，获得积分10
19秒前
海棠朵朵发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer 1070
The Complete Pro-Guide to the All-New Affinity Studio: The A-to-Z Master Manual: Master Vector, Pixel, & Layout Design: Advanced Techniques for Photo, Designer, and Publisher in the Unified Suite 1000
The International Law of the Sea (fourth edition) 800
Teacher Wellbeing: A Real Conversation for Teachers and Leaders 600
Synthesis and properties of compounds of the type A (III) B2 (VI) X4 (VI), A (III) B4 (V) X7 (VI), and A3 (III) B4 (V) X9 (VI) 500
Microbially Influenced Corrosion of Materials 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5405289
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4523606
关于积分的说明 14094385
捐赠科研通 4437378
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2435624
邀请新用户注册赠送积分活动 1427777
关于科研通互助平台的介绍 1406072
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通