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Erosion behavior of Y 2 O 3 in fluorine‐based etching plasmas: Orientation dependency and reaction layer formation |
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期刊:Journal of the American Ceramic Society 作者:Moritz Kindelmann; Mark Stamminger; Nino Schön; Marcin Rasinski; Rüdiger‐A. Eichel; et al 出版日期:2020-11-26 |
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