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标题
Interface optimization of 4H-SiC (0001) MOS structures with supercritical CO2 fluid
网址
DOI
10.35848/1882-0786/abbd25 doi
其它 期刊:Applied Physics Express
作者:Menghua Wang; Mingchao Yang; Weihua Liu; Songquan Yang; Jiang Liu; et al
出版日期:2020-09-30
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