Design of a Flexure-Based XYZ Micropositioner With Active Compensation of Vertical Crosstalk

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标题	Design of a Flexure-Based XYZ Micropositioner With Active Compensation of Vertical Crosstalk
网址	https://doi.org/10.1109/TASE.2023.3332696
DOI	10.1109/TASE.2023.3332696 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 作者：Zekui Lyu; Zehao Wu; Qingsong Xu 出版日期：2023-11-17
求助人	Rico 在 2026-09-22 10:24:36 发布自江苏，悬赏 10 积分
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