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 Similarity searching for wafer bin maps by measuring shape, location, and size similarities of defect patterns 通过测量缺陷图案的形状、位置和尺寸相似性来搜索圆片箱地图的相似性
相关领域
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箱子
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期刊：Computers & Industrial Engineering 作者：Min‐Su Kang; Jin-Su Shin; Dong‐Hee Lee 出版日期：2024-08-14 |
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