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 Amorphous/microcrystalline transition of thick silicon film deposited by PECVD 相关领域
等离子体增强化学气相沉积
微晶硅
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期刊：Applied Physics A 作者：N. Elarbi; R. Jemaï; A. Outzourhit; K. Khirouni 出版日期：2016-05-04 |
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