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Pathway and control of oxygen transport in the melt during single crystal silicon growth by continuous-feeding Czochralski method 连续加料直拉法单晶硅生长过程中熔体中氧传输的途径及控制
相关领域
直拉法
硅
晶体生长
氧气
材料科学
结晶学
单晶
化学
矿物学
光电子学
有机化学
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Jiancheng Li; Junlei Wang; Zeqi Zhong; Zaoyang Li; Yong Wen; et al 出版日期:2025-04-01 |
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