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 Surface modulation to enhance chemical mechanical polishing performance of sliced silicon carbide Si-face 提高切片碳化硅Si-face化学机械抛光性能的表面调制
相关领域
抛光
材料科学
化学机械平面化
碳化硅
机械加工
氧化物
表面粗糙度
表面光洁度
复合材料
冶金
碳化物
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| 其它 |
期刊：Applied Surface Science 作者：Gaopan Chen; Jianguo Li; Jiangyou Long; Haimei Luo; Yan Zhou; et al 出版日期：2020-09-24 |
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