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标题
Resolution enhancement for high-numerical aperture extreme ultraviolet lithography by split pupil exposures: a modeling perspective
网址
https://doi.org/10.1117/1.jmm.24.1.011002
DOI
10.1117/1.jmm.24.1.011002 doi
其它 期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
作者：Andreas Erdmann; Hazem Mesilhy; Peter Evanschitzky; Gerardo Bottiglieri; Tim Brunner; et al
出版日期：2024-10-08
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李露露 在 2026-09-23 16:23:20 发布自上海，悬赏 20 积分
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