| 标题 |
 Pushing multiple patterning in sub-10nm 相关领域
极紫外光刻
多重图案
平版印刷术
浸没式光刻
计算机科学
光刻
物理设计
纳米技术
下一代光刻
材料科学
抵抗
计算机体系结构
嵌入式系统
光电子学
电子束光刻
电路设计
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Proceedings of the 52nd Annual Design Automation Conference 作者：David Z. Pan; Lars Liebmann; Bei Yu; Xiaoqing Xu; Yibo Lin 出版日期：2015-06-07 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
cdercder
123
GingerF
OK
Nole
渡人舟
小鱼儿
张欢馨
Criminology34
东方元语
Sledge
刻苦的长颈鹿
vampv
研研
贪玩的秋柔
ming2026
woshi123
heekkll
失眠翠芙
皖公网安备34019202002308
