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 Enhanced Lithographic Performance of Polymer-Bound PAG Photoresists Synthesized via RAFT Polymerization 通过RAFT聚合合成聚合物结合PAG光致抗蚀剂的增强光刻性能
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期刊：Polymer Chemistry 作者：Nan Qin; Na Li; Xiang Gao 出版日期：2024-01-01 |
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