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 Machine learning plasma-surface interface for coupling sputtering and gas-phase transport simulations 用于耦合溅射和气相输运模拟的机器学习等离子体-表面界面
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Florian Krüger; Tobias Gergs; Jan Trieschmann 出版日期：2019-01-28 |
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