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Multiscale computational fluid dynamics modelling of spatial atomic layer deposition processes: Application to chamber design and process control 相关领域
计算流体力学
材料科学
原子层沉积
基质(水族馆)
沉积(地质)
吸附
参数统计
涡流
薄膜
流量(数学)
参数化设计
分子动力学
过程(计算)
多尺度建模
动力学
纳米技术
化学工程
热力学
流体力学
机械
纳米颗粒
图层(电子)
化学物理
化学动力学
体积流量
密度泛函理论
化学气相沉积
气流
瞬态(计算机编程)
化学反应
流速
生物系统
参数化模型
响应面法
化学反应器
物理化学
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| 其它 |
期刊:Surfaces and Interfaces 作者:Yunseok Kim; Seulwon Choi; Huichan Kang; Ho Jun Kim; Hwanyeol Park 出版日期:2026-01-21 |
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