Profile evolution and mechanisms in pulsed-bias plasma etching of high-aspect-ratio silicon pillars for wafer-scale metasurface manufacturing

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标题	Profile evolution and mechanisms in pulsed-bias plasma etching of high-aspect-ratio silicon pillars for wafer-scale metasurface manufacturing
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005573
DOI	10.1116/6.0005573 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：J. D. Guo; Zhengming Liu; Mingqiang Geng; Kunrun Song; Huiyun Jiang; et al 出版日期：2026-07-22
求助人	大胆的涵柏在 2026-09-22 21:03:25 发布自四川，悬赏 10 积分
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