使用 SF6/C4F8 Bosch 工艺模拟硅蚀刻的多尺度方法

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标题	使用 SF6/C4F8 Bosch 工艺模拟硅蚀刻的多尺度方法
网址	求助人暂未提供
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其它	10.1116/1.4885500
求助人	LL 在 2026-09-20 10:25:08 发布自湖北，悬赏 10 积分
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