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标题
Benefits of three-dimensional mask (M3D) effects in high-NA and hyper-NA EUV lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.25.3.031607
DOI
10.1117/1.jmm.25.3.031607 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
作者：Andreas Erdmann; Gerardo Bottiglieri; Christian Schwemmer; Peter Evanschitzky; Parul Dhagat; et al
出版日期：2026-07-06
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李露露 在 2026-09-23 16:23:45 发布自上海，悬赏 20 积分
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