| 标题 |
 Unsteady Multiphase CFD Analysis of Slurry Flow in a 300 mm CMP System: Effect of Rotation Speed and Slurry Flow Rate 相关领域
泥浆
计算流体力学
材料科学
转速
机械
旋转（数学）
流量（数学）
体积流量
沟槽（工程）
强度（物理）
化学机械平面化
计算机模拟
瞬态（计算机编程）
多相流
机械工程
腐蚀
足迹
叶轮
两相流
环境科学
复合材料
消散
流体力学
混合（物理）
二次流
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 作者：Doyun An; M. Hong; Hyunjoon Park; Hong Jin Kim; Hyunki Kim; et al 出版日期：2026-07-06 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
Kao
Samuel
Avalonx
Nole
OK
sci_fp
yjh123
arniu2008
无极微光
sagitar
GingerF
老胡
行走的荷尔蒙
Criminology34
LB
youth
脑袋凹凹
学术文献互助
SH
皖公网安备34019202002308
