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 Ion beam etching of barium titanate for integrated photonics 用于集成光子学的钛酸钡离子束刻蚀
相关领域
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钛酸钡
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Mingliang Zhao; Yingxuan Liu; Ruyuan Ma; Yang Qiu; Xingyan Zhao; et al 出版日期：2025-03-10 |
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