Ion flux nonuniformities in large-area high-frequency capacitive discharges

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标题	Ion flux nonuniformities in large-area high-frequency capacitive discharges 相关领域离子等离子体焊剂（冶金）原子物理学氩波长电容感应材料科学等离子体诊断激发托尔化学物理光电子学电气工程有机化学冶金热力学工程类量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.1592617
DOI	10.1063/1.1592617 doi
求助人	kiki 在 2025-10-20 11:15:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
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