Improvement of SiO2 surface morphology during the selective Si3N4 etching in the multi-layered 3D NAND Si3N4/SiO2 stack structures by the generation of CO2 gas through the control of redox reaction

堆栈(抽象数据类型) 材料科学 蚀刻(微加工) 氧化物 氮化物 氮化硅 图层(电子) 磷酸 二氧化硅 光电子学 纳米技术 化学工程 复合材料 冶金 工程类 计算机科学 程序设计语言
作者
Taehyeon Kim,Taegun Park,Changjin Son,Sangwoo Lim
出处
期刊:Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
卷期号:35: 102484-102484 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.surfin.2022.102484
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
寞失发布了新的文献求助10
刚刚
YT完成签到,获得积分0
刚刚
1秒前
1秒前
104zw完成签到,获得积分10
1秒前
无花果应助松奇采纳,获得10
1秒前
张张张完成签到,获得积分10
1秒前
木木秋烟完成签到,获得积分20
1秒前
1秒前
单纯清完成签到 ,获得积分10
1秒前
依珊发布了新的文献求助10
1秒前
小池同学完成签到,获得积分10
2秒前
xu完成签到,获得积分20
2秒前
2秒前
领导范儿应助艾云欣采纳,获得10
2秒前
老板娘完成签到,获得积分10
2秒前
Five_DoubleNine完成签到,获得积分10
2秒前
科研小白完成签到,获得积分20
2秒前
ZZQ完成签到,获得积分10
2秒前
wang006006完成签到,获得积分10
2秒前
Nole应助MB1234567采纳,获得10
3秒前
Lucas应助西瓜冰棒采纳,获得10
3秒前
3秒前
3秒前
www完成签到 ,获得积分10
3秒前
int0030完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
3秒前
落寞伯云应助xxFu采纳,获得20
3秒前
犹豫母鸡完成签到,获得积分10
3秒前
4秒前
旺仔先生完成签到 ,获得积分10
4秒前
年糕完成签到,获得积分10
4秒前
xu发布了新的文献求助10
5秒前
orixero应助TTMGF采纳,获得10
5秒前
tianzhen发布了新的文献求助10
5秒前
Paddi完成签到,获得积分10
5秒前
喜悦的尔阳完成签到,获得积分10
5秒前
开心的铅笔完成签到 ,获得积分10
6秒前
Faker发布了新的文献求助10
6秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition 800
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives 800
Organizational Behavior 510
Management and the Arts 510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
CLSI VET01S-2024 Performance Standards for Antimicrobial Disk and Dilution Susceptibility Tests for Bacteria Isolated From Animals (7th Ed) 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 化学工程 工程类 有机化学 物理 复合材料 生物化学 内科学 细胞生物学 基因 遗传学 免疫学 冶金 光电子学 癌症研究
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7760185
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9305375
关于积分的说明 20287848
捐赠科研通 7344333
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3312776
关于科研通互助平台的介绍 2463256
邀请新用户注册赠送积分活动 2326815