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Improvement of SiO2 surface morphology during the selective Si3N4 etching in the multi-layered 3D NAND Si3N4/SiO2 stack structures by the generation of CO2 gas through the control of redox reaction
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作者
Taehyeon Kim,
Taegun Park,
Changjin Son,
Sangwoo Lim
出处
期刊:
Surfaces and Interfaces
[Elsevier BV]
日期:2022-11-14
卷期号:35: 102484-102484
被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.surfin.2022.102484
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