Comparison of the structural properties and residual stress of AlN films deposited by dc magnetron sputtering and high power impulse magnetron sputtering at different working pressures

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 残余应力 溅射沉积 溅射 腔磁控管 薄膜 复合材料 光电子学 冶金 纳米技术
作者
K. Ait Aissa,Amine Achour,J. Camus,L. Le Brizoual,Pierre-Yves Jouan,M.A. Djouadi
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:550: 264-267 被引量:91
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2013.11.073
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
2秒前
2秒前
跳跃的浩阑完成签到 ,获得积分10
2秒前
天天快乐应助zmn0419采纳,获得10
2秒前
2秒前
朴素绿真发布了新的文献求助10
3秒前
小马甲应助Sylus采纳,获得10
3秒前
5秒前
qiong发布了新的文献求助10
5秒前
大个应助Pendulium采纳,获得10
6秒前
疯狂的巨蟹完成签到,获得积分10
6秒前
juston应助Ning采纳,获得10
6秒前
7秒前
科研通AI6.4应助zlren采纳,获得10
7秒前
糊涂的孤丝完成签到,获得积分10
7秒前
8秒前
123完成签到 ,获得积分10
8秒前
柚子发布了新的文献求助10
8秒前
LuciusHe发布了新的文献求助10
8秒前
缥缈的绿兰完成签到,获得积分10
9秒前
10秒前
等待听安完成签到 ,获得积分10
10秒前
10秒前
10秒前
wen发布了新的文献求助10
11秒前
Drwenlu完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
王建平完成签到 ,获得积分10
12秒前
李健应助AAAAA采纳,获得20
12秒前
yancy完成签到,获得积分10
12秒前
麻辣爆肚儿完成签到,获得积分10
13秒前
炙热的平灵完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
13秒前
端庄冬日完成签到,获得积分10
13秒前
轻竹发布了新的文献求助10
15秒前
没所谓完成签到,获得积分10
16秒前
16秒前
猪猪hero发布了新的文献求助10
16秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Principles of town planning: translating concepts to applications 1000
Management and the Arts 510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
核安全综合知识2024版 500
Photothermal Science and Techniques 500
Digital Displacement Hydrostatic Transmission for Rotorcraft and Distributed Propulsion 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7707589
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9265144
关于积分的说明 20052844
捐赠科研通 7284077
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3296071
关于科研通互助平台的介绍 2450956
邀请新用户注册赠送积分活动 2303062