Effects of bias voltage on microstructure and properties of vanadium dioxide films deposited by DC magnetron sputtering

微观结构 材料科学 二氧化二钒 溅射沉积 偏压 溅射 腔磁控管 高功率脉冲磁控溅射 光电子学 电压 化学工程 冶金 薄膜 纳米技术 电气工程 工程类
作者
Chuandong Zhang,Jie Bai,Yuanjun Guo,Qiang Hu,Lei Liu,Hong Liu,Lang Hu,Yongneng Xiao,Qiang Wang,Zhenhuai Yang
出处
期刊:CrystEngComm [The Royal Society of Chemistry]
卷期号:27 (8): 1111-1119 被引量:1
标识
DOI:10.1039/d4ce01211a
摘要

Applying an appropriate bias voltage during direct current magnetron sputtering can optimize the valence state, facilitate phase transition, and improve the performance of deposited VO 2 film.
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