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Development of ZnO Thin Film Transistors Based on SiN/Al2O3 Gate Dielectric Materials

材料科学 薄膜晶体管 电介质 光电子学 栅极电介质 晶体管 工程物理 纳米技术 电气工程 图层(电子) 电压 物理 工程类
作者
Eui‐Jung Yun,Young‐Wook Song,Hyoung Gin Nam,Nam‐Ihn Cho,Myunghee Jung
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:58 (3): 487-491 被引量:2
标识
DOI:10.3938/jkps.58.487

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