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Davoud Dastan,
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Lin Tao,
Zhicheng Shi,
Yingxin Chen,
Xi-Tao Yin,
Najlaa D. Alharbi,
Farzan Gity,
Somayeh Asgary,
Mohammad Hatamvand,
Lida Ansari
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2022-11-21
卷期号：154: 107232-107232
被引量：75
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2022.107232
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