Three-dimensional integration of two-dimensional field-effect transistors

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作者
Darsith Jayachandran,Rahul Pendurthi,Muhtasim Ul Karim Sadaf,Najam U Sakib,Andrew Pannone,Chen Chen,Ying Han,Nicholas Trainor,Shalini Kumari,Thomas V. Mc Knight,Joan M. Redwing,Yang Yang,Saptarshi Das
出处
期刊:Nature [Nature Portfolio]
卷期号:625 (7994): 276-281 被引量:286
标识
DOI:10.1038/s41586-023-06860-5
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