Polycrystalline-silicon LPCVD by silane pyrolysis: The effect of hydrogen injection

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作者
V. G. Erkov,S. F. Devyatova
出处
期刊:Russian Microelectronics [Pleiades Publishing]
卷期号:36 (2): 120-126
标识
DOI:10.1134/s1063739707020084
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