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标题
Development of Low Cost Glass-Based Deep Trench Capacitor for 3D Packaging
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中间层 电容器 电介质 电容 材料科学 等效串联电阻 光电子学 原子层沉积 基质(水族馆) 电气工程 电子工程 电压 复合材料 电极 图层(电子) 化学 工程类 蚀刻(微加工) 海洋学 物理化学 地质学
网址
DOI
10.1109/led.2023.3295596 doi
其它 期刊:IEEE Electron Device Letters
作者:Zhihui Hu; Qing Jie Zhou; Haozhe Ma; Manyu Wang; Yi Zhong; et al
出版日期:2023-07-14
求助人
liu 在 2026-11-10 08:19:21 发布自湖北,悬赏 10 积分
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