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 通过引入陷阱中心增强 c-Si 表面的场效应钝化：通过热 ALD 沉积的铪和氧化铝双层膜的案例 相关领域
钝化
双层
材料科学
电介质
原子层沉积
氧化铝
硅
铝
图层（电子）
氧化物
铪
热氧化
氧化硅
分析化学（期刊）
光电子学
纳米技术
化学
复合材料
冶金
氮化硅
膜
锆
生物化学
色谱法
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(2025-6-4)
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