通过引入陷阱中心增强 c-Si 表面的场效应钝化：通过热 ALD 沉积的铪和氧化铝双层膜的案例

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标题	通过引入陷阱中心增强 c-Si 表面的场效应钝化：通过热 ALD 沉积的铪和氧化铝双层膜的案例相关领域钝化双层材料科学电介质原子层沉积氧化铝硅铝图层（电子）氧化物铪热氧化氧化硅分析化学（期刊）光电子学纳米技术化学复合材料冶金氮化硅膜锆生物化学色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.solmat.2018.08.018
DOI	10.1016/j.solmat.2018.08.018 doi
求助人	闪闪的硬币在 2025-12-01 10:27:40 发布自江苏，悬赏 10 积分
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