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 Study of precisely controlled selective isotropic quasi-ALE of SiGe 相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
限制
反应离子刻蚀
纳米技术
纳米线
光电子学
各向同性腐蚀
等离子体刻蚀
氧化物
图层（电子）
晶体管
干法蚀刻
各向同性
电气工程
光学
物理
电压
工程类
冶金
机械工程
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(2025-6-4)
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