| 标题 |
A comparison of the properties of DC and RF sputter - deposited Cr films 相关领域
溅射
材料科学
表面粗糙度
溅射沉积
腐蚀
冶金
扫描电子显微镜
脉冲直流
电镀
复合材料
薄膜
图层(电子)
纳米技术
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| DOI |
10.3740/mrsk.2006.16.8.461
doi
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| 其它 |
期刊:Korean Journal of Materials Research 作者:민우 박; 종무 이 出版日期:2006-08-01 |
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