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 Defect detection and classification on semiconductor wafers using two-stage geometric transformation-based data augmentation and SqueezeNet lightweight convolutional neural network 基于两阶段几何变换数据扩充和SqueezeNet轻量级卷积神经网络的半导体晶片缺陷检测与分类
相关领域
卷积神经网络
计算机科学
人工智能
转化（遗传学）
深度学习
人工神经网络
自动化
半导体器件制造
薄脆饼
机器学习
半导体工业
钥匙（锁）
模式识别（心理学）
工业工程
工程类
制造工程
机械工程
电气工程
基因
生物化学
计算机安全
化学
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| 其它 |
期刊：Computers & Industrial Engineering 作者：Francisco López de la Rosa; José L. Gómez-Sirvent; Rafael Morales; Roberto Sánchez-Reolid; Antonio Fernández‐Caballero 出版日期：2023-08-20 |
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