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Work Coordinate Setup in Ultra-precision Machine Tool Using Tunneling Effect 利用隧道效应建立超精密机床的工作坐标
相关领域
机械加工
坐标测量机
准确度和精密度
纳米
过程(计算)
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电压
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期刊:Journal of the Korean Society for Precision Engineering 作者:Handeul You; Sangjin Maeng 出版日期:2024-02-01 |
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