Silicon Nitride Thin Films Deposited By Reactive Gas-timing Magnetron Sputtering For Protective Coating Applications

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标题	Silicon Nitride Thin Films Deposited By Reactive Gas-timing Magnetron Sputtering For Protective Coating Applications
网址	https://doi.org/10.5185/amlett.2015.SMS5
DOI	10.5185/amlett.2015.SMS5 doi
其它	期刊：Advanced Materials Letters 作者：N. Khemasiri; N. Paleeya; D. Sae-tang Phromyothin; M. Horprathum; A. Sungthong; et al 出版日期：2015
求助人	仁爱思真在 2026-04-21 11:13:11 发布自北京，悬赏 10 积分
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