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标题
Reactive Sputtering of SiCN Films: Process Optimization and Bonding Behavior for Cu Hybrid Bonding
网址
https://link.springer.com/content/pdf/10.1007/s11664-025-125...
DOI
10.1007/s11664-025-12552-9 doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：Junyoung Choi; Suin Jang; Sarah Eunkyung Kim
出版日期：2025-11-19
求助人
111 在 2026-08-07 15:20:07 发布自江苏，悬赏 10 积分
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