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On the origin and evolution of hotspots in multipatterning processes
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网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0002601
DOI
10.1116/6.0002601 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Prem Panneerchelvam; Chad M. Huard; Trey Graves; Alessandro Vaglio Pret; Roel Gronheid; et al
出版日期：2023-06-06
求助人
英俊的铭 在 2026-01-05 07:43:09 发布自广西，悬赏 10 积分
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