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标题
Anisotropic and low damage III-V/Ge heterostructure etching for multijunction solar cell fabrication with passivated sidewalls
相关领域
钝化 材料科学 异质结 光电子学 蚀刻(微加工) 太阳能电池 各向同性腐蚀 反应离子刻蚀 制作 纳米技术 图层(电子) 医学 替代医学 病理
网址
DOI
10.1016/j.mne.2021.100083 doi
其它 期刊:Micro and nano engineering
作者:Mathieu de Lafontaine; E. Pargon; Guillaume Gay; Camille Petit‐Etienne; Sylvain David; et al
出版日期:2021-03-14
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jessicaw 在 2026-07-06 14:40:13 发布自中国,悬赏 10 积分
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