Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Poly(Cyclohexyl Methacrylate) as a Sacrificial Thin Film

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标题	Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Poly(Cyclohexyl Methacrylate) as a Sacrificial Thin Film 相关领域等离子体增强化学气相沉积薄膜材料科学分析化学（期刊）薄脆饼 X射线光电子能谱退火（玻璃）化学气相沉积热分解感应耦合等离子体等离子体硅傅里叶变换红外光谱化学工程化学纳米技术复合材料光电子学有机化学物理量子力学工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s11090-019-10038-1
DOI	10.1007/s11090-019-10038-1 doi
其它	期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing 作者：Yunus Yartaşı; Mustafa Karaman 出版日期：2019-10-17
求助人	guano 在 2025-10-21 10:20:53 发布自广东，悬赏 10 积分
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