Data-Driven Analysis of High-Temperature Fluorocarbon Plasma for Semiconductor Processing

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标题	Data-Driven Analysis of High-Temperature Fluorocarbon Plasma for Semiconductor Processing 相关领域等离子体半导体德拉姆半导体器件制造等离子体处理薄脆饼感应耦合等离子体分析化学（期刊）蚀刻（微加工）光电子学材料科学化学纳米技术图层（电子）环境化学物理量子力学
网址	https://doi.org/10.3390/s24227307 AI链接 doi.org nih.gov doaj.org nih.govdoi.org
DOI	10.3390/s24227307 doi
其它	期刊：Sensors 作者：Sung Kyu Jang; Woosung Lee; Ga In Choi; J.H. Kim; Minji Kang; et al 出版日期：2024-11-15
求助人	朱桂林在 2026-01-09 11:57:42 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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