Influence of Salicide Block Oxide and Key Process Parameters on P+ Polysilicon Resistor Performance

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标题	Influence of Salicide Block Oxide and Key Process Parameters on P+ Polysilicon Resistor Performance
网址	https://doi.org/10.1109/ASMC64512.2025.11010231
DOI	10.1109/ASMC64512.2025.11010231 doi
其它	期刊：2025 36th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC) 作者：Adukkadukkam Dineshan; Chiam Chek Chou; Islam Mohd Nurul; Lau Ker Peng; Xie Jun; Chen Yan Connie 出版日期：2025
求助人	zza 在 2026-05-28 14:48:52 发布自上海，悬赏 10 积分
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