Piezoelectric 1D MEMS scanning micromirror fabricated with bulk PZT laminated on stainless steel plate

材料科学 锆钛酸铅 压电 微电子机械系统 悬臂梁 图层(电子) 扫描仪 复合材料 光学 电压 光电子学 铁电性 电介质 电气工程 物理 工程类
作者
Hyun Chul Yoon,Suna Ju,Chang‐Hyeon Ji
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
卷期号:366: 114931-114931 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.sna.2023.114931

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