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4H-SiC trench MOSFET with splitting double-stacked shielded region

材料科学沟槽碳化硅光电子学 MOSFET 屏蔽电缆栅氧化层电容可靠性（半导体）击穿电压功率MOSFET 电气工程电压功率（物理）晶体管纳米技术复合材料工程类图层（电子）物理化学化学物理量子力学电极

作者

Tongtong Yang,Song Bai,Runhua Huang

出处

期刊：Superlattices and Microstructures [Elsevier BV]
日期：2018-07-03 卷期号：122: 419-425 被引量：7

标识

DOI：10.1016/j.spmi.2018.06.069

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