Synthesis and Surface Acoustic Wave Property of Aluminum Nitride Thin Films Fabricated on Silicon and Diamond Substrates Using the Sputtering Method

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标题	Synthesis and Surface Acoustic Wave Property of Aluminum Nitride Thin Films Fabricated on Silicon and Diamond Substrates Using the Sputtering Method 相关领域材料科学钻石溅射薄膜声表面波半最大全宽溅射沉积氮化物基质（水族馆）铝氮化铝表面粗糙度硅光电子学表面光洁度衍射氮化硅纹理（宇宙学）复合材料光学图层（电子）纳米技术人工智能地质学物理图像（数学）海洋学计算机科学
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.40.5065/pdf AI链接 iop.orgdoi.org
DOI	10.1143/jjap.40.5065 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：M. Ishihara; T. Manabe; T. Kumagai; Takako Nakamura; S. Fujiwara; et al 出版日期：2001-08-15
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