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 Al2O3 blocking layer inserted ZrO2 Metal-Insulator-Metal capacitor for the improved electrical and interfacial properties Al2O3阻挡层插入ZrO2金属-绝缘体-金属电容器改善电学和界面性能
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期刊：Thin Solid Films 作者：Hongseon Song; Dokyoung Kim; Sangyeol Kang; Hyung‐Suk Jung; Hanjin Lim; et al 出版日期：2020-09-29 |
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