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 High efficiency chemical mechanical polishing for silicon wafers using a developed slurry 使用显影浆料的硅片高效化学机械抛光
相关领域
化学机械平面化
材料科学
抛光
薄脆饼
泥浆
化学工程
硅
柠檬酸
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冶金
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化学
有机化学
涂层
工程类
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Wenxiang Xie; Zhenyu Zhang; Shiqiang Yu; Li Li; Xiangxiang Cui; et al 出版日期：2023-03-22 |
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