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标题
Nearly amorphous Mo-N gratings for ultimate resolution in extreme ultraviolet interference lithography
网址
http://dx.doi.org/10.1088/0957-4484/25/23/235305
DOI
10.1088/0957-4484/25/23/235305 doi
其它 期刊：Nanotechnology
作者：L Wang; E Kirk; C Wäckerlin; C W Schneider; M Hojeij; et al
出版日期：2014-05-21
求助人
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