| 标题 |
 Mechanistic insights into the synergistic effect of oxidizers and abrasives in chemical mechanical polishing of 4H-SiC wafer 相关领域
材料科学
抛光
薄脆饼
化学机械平面化
冶金
纳米技术
工程物理
工程类
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期刊：Ceramics International 作者：Xin Song; Jiani Guo; Changqi Xu; Zhigang Dong; Renke Kang; et al 出版日期：2025-07-15 |
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